项目名称：   电子束蒸发薄膜沉积系统   项目编号：   清采比选******号

公告开始日期：   2025-01-08 13:50:56   公告截止日期：   2025-01-13 14:00:00

签约时间要求：   成交后10个工作日内   交货时间要求：   签订合同后20个工作日内

采购单位：******大学

国内合同付款方式：   合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%

收货地址：******大学

采购商品：   电子束蒸发薄膜沉积系统   采购数量：   1   计量单位：   台

技术参数及配置要求：   1、设备适用于6英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积，6英寸样品不均匀性≤±4%；2、设备用于蒸镀金属及氧化物半导体薄膜，纳米级单层及多层功能薄膜；3、设备极限真空度优于5.0×10-5Pa，真空漏率≤10-7Pa.l/s，真空室从大气到抽到≤5.0×10-4Pa，小于30min；4、 样品台加热或水冷结构兼容二选一，加热样品台控温精度±1℃，配置水冷样品台可升降可旋转；5、电子枪功率0-8KW可调；带预熔功能

质保期：   12个月